實驗室高純氣路管道系統應用及管道要求

氣路系統主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設備，是方便于實驗室供氣及安全的氣路系統。主要用于實驗室、電子微電子、石油化工、太陽能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質監局、學校科研、原子吸收光譜法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業、醫療/工業激光工業等高科技領域。

　　1.管道、球閥、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯)，高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設有單向閥，可防止鋼瓶更換時軟管內的氣體泄漏，同時防止外界空氣混入氣路。

　　2.管道系統:所有氣體管道均采用巴級316L不銹鋼管，管道上有過濾雜質和水分的凈化裝置，使氣體在循環過程中不會被管道系統污染，保證氣體的純度。同時，應有明確的標志來指示氣體的流向。

　　3.管道連接:母線和端子部分通過卡套連接，便于減壓器和閥門的維護和管理。

　　4.終端:每臺儀表前應配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個)。截止閥用于控制每個氣路的開啟和關閉;當儀器需要調整和維護時，可以停止任何定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調節終端的壓力。

　　1.不銹鋼管外明內凈是選，其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。

　　2.室內部件應盡可能使用不銹鋼管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。

　　3.為了消除不必要的隱患，減少管道可能的泄漏點，建議使用超長不銹鋼軟管，容易彎曲和改變方向。有時，為了便于施工和設計，可以在管道中設置一些雙通和三通接頭。

　　1.高純氣體管道系統布置不同于普通氣體管道。通常要求管道不應太長，并且不應有不容易清洗的死角，如“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，少量氣體在管道末端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，并且沒有“死區"。根據工藝氣體的質量要求，如有必要，還需要布置末端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統一管理和控制。

　　2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應質量的管道。例如，半導體工業不僅需要清潔的生產環境，而且由于其復雜的生產過程和精細加工，對生產過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求。從微米技術到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術，對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　3.管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　外觀檢查

　　1.管道布線應水平、平直和垂直;管子固定牢固。

　　2.管道外表面無明顯損壞。

　　3.每個閥件沒有明顯損壞。系統耐壓試驗如果管道在充滿壓力后變形(如起泡、扭曲、膨脹和其他現象)，這意味著系統不能在這種壓力下工作。如果系統在此壓力下長時間工作，系統將在變形位置爆裂，造成人身和財產損失。

實驗室高純氣路管道系統應用及管道要求